在電子器件生產(chǎn)工藝中，廣泛使用了各種高純氣體。按工藝中高純度氣體的不同用處，可將其分為維護(hù)氣、反響氣和載氣。
用作維護(hù)氣的有氫氣、氮氣、氧氣及其混合氣。在國內(nèi)為獲取氫氣和氨氣，為取得較高純度的氫氣，一般都選用電解純水的辦法制取。這種辦法需用大量電能來電解水，一般達(dá)4.5~ 5.5kWh /Nm3H2，致使成本很高。
為減少電能消耗，降低成本，都在研發(fā)和使用各種混合氣。其間，以使用氮－氫混合氣為最多。國外多選用液態(tài)氫和液態(tài)氮汽化法取得氮氫混合氣， 也有選用液氮分解法取得氮氫混合氣的。
用液氫和液氮汽化來取得氮氧混合氣的辦法，因為選用了液化后再汽化的工藝，故其投資和成本均較高． 國外，因為生產(chǎn)的專業(yè)化程度高，使用單位多選用這種辦法取得混合氣。 國內(nèi)若從專業(yè)鋁合金門窗廠或大型聯(lián)合企業(yè)的副產(chǎn)物取得液氫和液氮，其成本要比電解氫和“空分”氮取得的氫氣與氯氣高出幾倍。由液氨分解取得的氮氧混合氣，因為液氮來源不同，大多數(shù)質(zhì)量較差，其間仍含有未分解的氨、水和氧等雜質(zhì)。此外，液氮多來源于化肥廠，現(xiàn)在，供應(yīng)上較嚴(yán)重，故成本也較高。
氮氫混合氣不僅可在生產(chǎn)電子器件時替代氧氣用作維護(hù)氣，還可廣泛用于冶金、化工、機械等行業(yè)。 一旦廣泛推廣使用，必將發(fā)生可觀的經(jīng)濟效益和社會效益。
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