電子級二氧化碳在半導體制造中的關鍵作用

電子二氧化碳是一種高純度的二氧化碳氣體，主要用于電子工業(yè)的清潔和冷卻過程。該級二氧化碳雜質含量

極低，滿足半導體、光纖、電子設備制造等對純環(huán)境要求較高的行業(yè)需求。制備過程涉及精確的純化技術，

以確保所有潛在的污染物的去除。這些污染物可能包括水、有機物、顆粒物、其他氣體雜質、細菌和病毒。

純化過程通常包括預凈化、蒸餾、吸附、膜分離和最終精密過濾等多個步驟。

在半導體制造過程中，電子二氧化碳用于光刻機的光源冷卻，以保持光源的穩(wěn)定性和精度。此外，它還用于

清潔設備中的顆粒和殘留的化學物質，以確保硅片和其他電子元件的清潔。因為在這些過程中，即使是微量

的雜質也可能導致產品缺陷，所以使用高純度的二氧化碳是非常重要的。
標準通常由國際半導體設備和材料國際組織國際組織（SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational,

SEMI）定義。例如，SEMIC12-1104標準規(guī)定了半導體制造中二氧化碳的純度要求，包括允許的最大雜質水

平。

儲存和運輸需要特殊的設施和容器，以防止污染，確保安全。這種氣體通常由經過特殊處理的高壓氣瓶或儲

罐保存，并在整個供應鏈中遵循嚴格的質量控制程序。
電子二氧化碳是電子工業(yè)的關鍵材料，其高純度和低雜質含量對保證精密設備的正常運行和產品質量至關重

要。隨著對高純度氣體需求的增加，相關的純化技術和供應鏈管理也在不斷優(yōu)化和改進。

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