半導體產(chǎn)業(yè)的綠色未來：氖氣回收技術嶄露頭角  

氖氣回收技術是一種在半導體制造過程中實現(xiàn)氖氣回收的技術。該技術對降低采購成本、供

應鏈風險和環(huán)境影響具有重要意義。韓國半導體企業(yè)三星電子和SK海力士在氖氣回收方面取

得了顯著進展。

SK海力士與特種氣體制造商TEMC合作開發(fā)的氖氣回收技術，可在光刻工藝完成后有效收集

環(huán)境中的氖氣回收技術，經(jīng)專業(yè)凈化后重新供應給SK海力士。目前，該回收裝置的整體回收

率已達72.7%，并計劃進一步提高到77%。該技術預計每年為SK海力士節(jié)省約400億韓元的

采購成本，并減少約12000噸二氧化碳的當量碳排放。三星電子還計劃在2025年將氖氣回收

技術整合到其制造過程中，并在大規(guī)模芯片生產(chǎn)中成功采用了氖氣回收技術。該技術的應用

有望滿足三星光刻過程中約75%的氖氣需求，從而大大降低對進口氖氣的依賴性。氖氣回收

技術的發(fā)展不僅顯示了半導體企業(yè)在技術創(chuàng)新和資源回收方面的領先地位，也為整個電子產(chǎn)

業(yè)的可持續(xù)發(fā)展樹立了積極的榜樣。隨著該技術的進一步推廣和應用，預計將有更多的企業(yè)

加入資源回收的行列，共同促進全球經(jīng)濟的可持續(xù)發(fā)展。

氖氣回收技術對半導體產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)性有何貢獻？
氖氣回收技術對半導體產(chǎn)業(yè)可持續(xù)性的貢獻主要體現(xiàn)在以下幾個方面:
減少資源消耗和環(huán)境影響：通過回收技術，企業(yè)可以從生產(chǎn)過程中的廢氣中收集氖氣，不僅

減少了對新氖氣資源的需求，而且有助于減少工業(yè)生產(chǎn)對環(huán)境的影響。
降低生產(chǎn)成本：氖氣是半導體制造的關鍵原材料，特別是在光刻過程中。氖氣價格的波動可

能會對半導體制造商的成本產(chǎn)生重大影響。回收技術可以穩(wěn)定氖氣的供應，降低對外部市場

價格波動的敏感性，從而降低生產(chǎn)成本。
提高供應鏈的韌性：氖氣的供應在很大程度上取決于少數(shù)供應商，這使得半導體行業(yè)面臨供

應中斷的風險。通過回收技術，企業(yè)可以減少對外部氖氣供應的依賴，提高供應鏈的穩(wěn)定性

和韌性。
促進技術創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)可持續(xù)發(fā)展：氖氣回收技術的應用顯示了半導體產(chǎn)業(yè)在資源回收和環(huán)境

保護方面的努力，有助于促進整個產(chǎn)業(yè)向更可持續(xù)的生產(chǎn)模式轉(zhuǎn)型。
綜上所述，三星電子和sk海力士開發(fā)的氖氣回收技術不僅對公司自身的成本控制和供應鏈管

理具有重要意義，而且對整個半導體行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展也具有積極的貢獻。