考慮到環(huán)境污染愈來愈嚴重，科學家積極且持續(xù)地在不同項目上發(fā)展綠色工藝。學者提出其中之一項，在工廠制程設備驗證六氟化硫(SF6)回收系統(tǒng)，該系統(tǒng)除了具有經濟效益，且能達到二氧化碳(CO2)排放當量減量效果。這個工藝流程包含制程尾氣的前處理，回收氣體的分離、純化、儲存、供應；作為制程生產使用。

  一般而言，全氟碳化物(Perfluorocarbon PFC)減量的應用，包含有制程減量，其他低二氧化碳當量氣體的取代，制程廢氣燃燒處理，以及本次所提的氣體回收再利用。在這些方法中，工藝困難度最高的，屬于回收再利用，因此在工業(yè)上的應用也很少有成功的案例。借由本文的討論，提供面板廠，除了常用的制程廢氣燃燒處理方式之外，另一個在CO2排放當量，有著相同處理效能的工藝設備選擇機會。值得順帶一提，因為采取回收氣體再利用，六氟化硫氣體在消費工廠的整體使用量減少，所以在製造工廠因相對減產，造成CO2排放量當量減少的效益，有別于消費工廠利用制程廢氣燃燒處理方式者。

  在實驗過程中，數據表明其中經dry Etching制程，SF6裂解率一般而言在40%~60%，殘存的SF6若使用回收處理設備將可進一步回收使用；若使用燃燒式處理設備，則是直接將SF6燃燒，較不經濟。更進一步討論，未來如嘗試改變適當的制程條件，在相同的SF6製程用氣量前提之下，著眼于提高可回收的SF6氣量，或許將可達到更高的經濟效益，這個可行性，則有待未來再進一步深入的研究。

  經過一系列的實驗，學者對于六氟化硫(SF6)回收系統(tǒng)得出這樣一個結論：

  (1)整體回收純化系統(tǒng)進口的規(guī)格管制；雖然回收系統(tǒng)主要是去除不純物為主，但腐蝕性的有害物質，必須設置前處理設備，防止純化設備被破壞。 

  (2)目前的回收設備初設成本較高，因此在SF6的用量須達一定規(guī)模，較具回收經濟效益。

  (3)回收氣體中大部分是氮氣，若能予以減量，可降低成本。