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易燃易爆有毒類(lèi)電子工業(yè)用硅烷鍺烷氣體檢測(cè)新技術(shù)通過(guò)驗(yàn)收
易燃易爆有毒類(lèi)電子工業(yè)用硅烷鍺烷氣體檢測(cè)新技術(shù)研究通過(guò)驗(yàn)收，本項(xiàng)目所設(shè)計(jì)和制備的氣體預(yù)處理系統(tǒng)有望發(fā)展建立一種新的快速、安全、簡(jiǎn)便的易燃、易爆、有毒類(lèi)電子工業(yè)氣體純度檢測(cè)分析技術(shù)，也有望推廣到其他類(lèi)似電子工業(yè)氣體純度的檢測(cè)，具有一定的學(xué)術(shù)理論意義，且具有廣闊的應(yīng)用前景。更多 +
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