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八氟丙烷C3F8化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS
八氟丙烷C3F8化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS 八氟丙烷,八氟丙烷氣體,八氟丙烷標(biāo)準(zhǔn)氣體,八氟丙烷混合氣體 一、物質(zhì)的理化常數(shù)國標(biāo)編號:22035CAS登錄號:76-19-7中文名稱:八氟丙烷msds英文名稱:Octafluoropropane;Perflurane別名:全氟丙烷、1,1,1,2,2,3,3,3-八氟丙烷分子式:C3F8;CF3CF2CF3外觀與性狀:無色氣體蒸汽壓:熔點:-183℃沸點:-36.7℃溶解性:難溶于水密度 相對密度(空氣=1)6.6穩(wěn)定性:更多 +
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含氟蝕刻氣體的種類和介紹
目前,氟化蝕刻氣體是一種隱形的“刀具”,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體或LCD前端工藝,甚至可以在微米厚的薄層上切割納米級凹槽。你能仔細(xì)想想這幅畫嗎? 那么,氟化蝕刻氣體是什么呢?它們是如何工作的? 用于蝕刻的氣體稱為蝕刻氣體,通常是氟化物氣體,如四氟、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。 含氟蝕刻氣體是電子氣體的一個重要分支,是制造超大集成電路、平面顯示器、太陽能電池和玻璃纖維等電子工業(yè)不可或缺的原材料。它們被廣泛用于半導(dǎo)體工藝,如薄膜、蝕刻、摻雜、氣相沉積和擴(kuò)散。國家發(fā)展改革委《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)更多 +
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四氟化碳、三氟甲烷、六氟丁二烯電子行業(yè)中重要的蝕刻氣體
蝕刻是電子行業(yè)重要工藝,蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體, 通常多為氟化物氣體, 例如四氟化碳、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。 作為新一代環(huán)保電子氣體,電子級C4F6成為集成電路IC芯片等制造時必不可少的刻蝕氣體,其GWP值簡直為0,而且能完結(jié)納米級溝槽的加工,成為電子工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)一把神奇的“刻刀”,比γ刀還γ! 2015年,浙化院特種氣體研發(fā)團(tuán)隊提出自主開發(fā)新一代含氟電子氣體C4F6的提純技能。 今天紐小編就帶大家一起看看C4F6是怎樣更多 +
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