-
四氟化碳：半導體制造的關鍵氣體
四氟化碳（CF4）作為重要特殊氣體，在半導體制造、光伏產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療生物技術(shù)等領域展現(xiàn)出廣泛應用價值。然而，其全球變暖潛力值高，面臨環(huán)境挑戰(zhàn)。未來的發(fā)展趨勢聚焦于提升純度、研發(fā)低GWP替代氣體和推動工業(yè)化進步，以應對碳中和目標。更多 +
-
蝕刻工藝中的高溫室效應潛力氣體
本文介紹了幾種高GWP氣體，如四氟化碳、八氟環(huán)丁烷等在蝕刻過程中對環(huán)境的負面影響，并探討了低GWP替代氣體六氟丁二烯的優(yōu)勢，呼吁采用更環(huán)保的蝕刻材料以減少溫室效應。更多 +
