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氦氣(he)在半導體制造中發(fā)揮著重要作用
氦是一種從天然氣收集中提取的惰性氣體,具有在半導體制造過程中利用的多種特性。因為氦是一種“惰性” 氣體,它不會與其他元素發(fā)生反應,這使其成為制造半導體的理想選擇。在半導體加工過程中發(fā)生的化學反 應通常是基于氣體或液體的,因此在硅周圍使用惰性氣體可以防止發(fā)生不必要的反應更多 +
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電子氣體的管理
在制造集成電路的過程中,超過30種不同的工藝氣體被用于蝕刻\沉積\氧化\摻雜,和惰性保護的應用。????氬通常以低溫液體交付,并用于為金屬的濺射沉積提供惰性環(huán)境,因為氮氣的反應性高而導致形成金屬氮化物?!?/div> 更多 +-
六氟化硫混合氣體的作用
在具有同等絕緣強度的氮氣/六氟化硫混合氣體中做試驗時,在420KV下合閘僅17次,就發(fā)生了兩次對地閃絡。在GIS中若用氮氣/六氟化硫混合氣體取代六氟化硫氣體,得到的將是不經(jīng)濟的技術解決方案,而且也沒有生態(tài)上的…更多 +
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標準氣瓶能容納不同的氣體嗎?
首先我們介紹標準氣體的氣瓶。標準氣體氣瓶閥門的材料通常分為銅和不銹鋼。銅閥適用于穩(wěn)定、非腐蝕性和低腐蝕性的部件,而不銹鋼瓶閥適用于高濃度的腐蝕性和活性組分。為什么我們必須這樣分開?如果銅閥門用于腐蝕性部件…更多 +
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為什么標準氣體的生產(chǎn)時間更長?
標準氣體的生產(chǎn)過程包括以下步驟:原材料的選擇和清洗:根據(jù)99%至99.9999%的各種產(chǎn)品選擇適當純度的材料;對平衡氣體進行凈化以除去諸如水和氧之類的雜質。氣瓶搬運:液空集團采用其獨特的ACULIFE氣瓶…更多 +
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特種氣體在蝕刻中的應用
刻蝕分為濕法蝕刻和干法蝕刻。???硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙烷/氧氣、三氟化氮等。???蝕刻氣體氣體工業(yè)名詞,蝕刻就是把基片上無光刻膠掩蔽的加工表…更多 +
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為什么高純度六氟化硫是電力工業(yè)的重要介質
在電力工業(yè)中,高純度六氟化硫是一種重要的介質,用作閉合高壓開關的滅弧和絕緣氣體。SF6氣體的性能允許設備的經(jīng)濟和低維護操作。目前,作為一種絕緣和滅弧介質,從技術、經(jīng)濟和生態(tài)角度來看,沒有其他技術可以超越SF6氣體。六氟化硫便于工廠組裝、運輸和安裝。適用于各種溫度和壓力。更多 +