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電子級氣體污染控制要求日趨嚴(yán)格,您了解嗎?
隨著消費(fèi)電子產(chǎn)品的升級,產(chǎn)品的制造規(guī)模越來越大,產(chǎn)品成品率和故障控制越來越嚴(yán)格。整個電子工業(yè)對電子氣源的純度和消除傳輸系統(tǒng)中的二次污染的要求越來越嚴(yán)格。 原則上,行業(yè)提出的電子氣體污染和顆粒尺寸的技術(shù)指標(biāo)與分析設(shè)備技術(shù)進(jìn)步導(dǎo)致的檢測限(LDL)直接相關(guān)。例如,傳統(tǒng)的激光顆粒測試儀可以測量0.1μm,而核心凝固技術(shù)(CNC)可以達(dá)到0.01μm。 目前,12英寸超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線的寬度已發(fā)展到45nm。散裝氣體的純度必須在ppt水平,粒度控制直接參考CNC分析儀的下限。實(shí)驗(yàn)室的超亮更多 +
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介紹電子級氣體的小知識
天然氣行業(yè)術(shù)語。半導(dǎo)體工業(yè)中使用的氣體統(tǒng)稱為電子氣體。它可以分為三類:純氣體、純氣體和半導(dǎo)體特殊材料氣體。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝;高純度氣體主要用作稀釋氣體和載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。根據(jù)純度和用途,電子氣體可分為電子級、LSI(大規(guī)模集成電路)級、VLSI(超大規(guī)模集成電路)和ULSI(超大規(guī)模電路)級。 優(yōu)質(zhì)電子氣體是集成電路、光電子、微電子技術(shù)發(fā)展不可或缺的基礎(chǔ)材料,特別是在VLSI、LCD器件、半導(dǎo)體燈和半導(dǎo)體材料的制造過程中。它被稱為電子行業(yè)的&ldquo更多 +
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電子級氣體未來發(fā)展面臨的挑戰(zhàn)有哪些?
我們都知道電子氣體是危險的。電子氣體的未來發(fā)展面臨哪些挑戰(zhàn)? 1.電子氣體污染的控制要求越來越嚴(yán)格:隨著電子消費(fèi)品的升級,產(chǎn)品的制造規(guī)模越來越大,對產(chǎn)品成品率和缺陷的控制越來越嚴(yán)格。整個電子工業(yè)對電子氣源的純度和消除傳輸系統(tǒng)中的二次污染的要求越來越嚴(yán)格。原則上,行業(yè)提出的電子氣體污染和顆粒尺寸的技術(shù)指標(biāo)與分析設(shè)備技術(shù)進(jìn)步導(dǎo)致的檢測限(LDL)直接相關(guān)。例如,傳統(tǒng)的激光顆粒測試儀可以測量0.1μm,而核心凝固技術(shù)(CNC)可以達(dá)到0.01μm。 2、流量大,輸送連續(xù)穩(wěn)定:電子氣傾向于集更多 +
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高純氦氣的制備方法
高純度氦意味著其組分含量大于99.999%,即雜質(zhì)含量小于氣體的10×10-6(體積份額)。工業(yè)提供的純氣體中的總雜質(zhì)通常小于100×10-6(體積分?jǐn)?shù)),因此必須通過進(jìn)一步凈化將雜質(zhì)去除至10%×10-6或更小。 工業(yè)純氦氣的主要雜質(zhì)是氮?dú)?、氧氣、水、一氧化碳、二氧化碳和碳?xì)浠衔?,可通過以下方法去除。 1.去除氮?dú)? 脫氮有時伴隨著脫氧。它主要被金屬貧民區(qū)吸收。常用的金屬貧民窟是鈣、鈦、鈾和鋯鋁16。當(dāng)金屬鈣用作吸氣劑時,氮和氧同時被吸收。反應(yīng)溫度為650~6更多 +
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高純氨氣制取的四項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)
高純度氨產(chǎn)品是光電子和微電子技術(shù)不可或缺的支撐材料。它廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體照明、平板顯示器、太陽能電池和大型集成電路的制造。高純度氨的質(zhì)量直接影響材料的光學(xué)和電學(xué)性能,甚至影響設(shè)備的使用壽命。國內(nèi)外都有巨大的潛在市場。隨著國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,對高純度氨的需求快速增長,高純度電子氣體的國產(chǎn)化是必然的發(fā)展趨勢。 高純度氨也是通過有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積(MOCVD)技術(shù)生產(chǎn)第三代復(fù)合半導(dǎo)體材料氮化鎵(GaN)的重要支撐材料。MOCVD生產(chǎn)氮化鎵(GaN)要求所用的氨必須是高純度和超清潔的,純度為7N(99.99更多 +
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色譜儀光譜儀如何正確選用高純氣體延長儀器壽命?
如何正確選擇高純度氣體以延長色譜儀的使用壽命?純氣體的使用:純氣體的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛。在半導(dǎo)體工業(yè)中,高純度氮?dú)?、?font color='red'>純度氫氣、高純度氬氣和高純度氦氣可以用作載氣和保護(hù)氣體;它可用作混合用的高純度土壤氣體。氣體生產(chǎn)和銷售各種類型的氣體產(chǎn)品,為數(shù)百家儀器服務(wù)提供商和實(shí)驗(yàn)室提供氣體服務(wù),那么如何選擇高純度氣體用于色譜儀?氣相色譜中常用的載氣是氫氣、氮?dú)狻⒑?、氬氣和空氣。除了空氣壓縮機(jī)可以提供空氣外,這些氣體通常由提供。通常,對流量進(jìn)行清潔、穩(wěn)定、控制和測量。 盡管如何選擇不同氣體純度的氣源作為氣相色譜儀的更多 +
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空氣中一氧化碳檢驗(yàn)方法
非色散紅外氣體分析 1.原理 一氧化碳對非色散紅外光束具有選擇性吸收。在一定范圍內(nèi),吸收值與一氧化碳濃度呈線性關(guān)系。根據(jù)吸收值確定樣品中一氧化碳的濃度。 2.試劑和材料 2.1彩色硅膠:120℃干燥2h。 2.2無水氯化鈣:分析純。 2.3高純度氮?dú)猓?9.99%純度。 2.4 Hopkalite氧化劑:10-20目顆粒。Hojarate氧化劑主要由氧化錳(MnO)和氧化銅(CuO)組成。其功能是將空氣中的一氧化碳氧化為二氧化碳,用于儀表調(diào)零。該氧化劑的氧化效率在100℃以下達(dá)到100%。更多 +
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高純氮?dú)獾南缿?yīng)急措施
氮?dú)鈨艋椒ㄖ饕形?、變壓吸附、膜分離等。在生產(chǎn)中,黑色鋼瓶通常用于盛裝氮?dú)狻? 意圖 它被用作集成電路、半導(dǎo)體和電真空設(shè)備制造中的保護(hù)氣體和載氣,用于化學(xué)氣相沉積的載氣,液體擴(kuò)散源的載氣以及高溫擴(kuò)散爐中設(shè)備的保護(hù)氣體。在外延、光刻、純化和蒸發(fā)過程中,高純度氮?dú)庥米髦脫Q、干燥、儲存和運(yùn)輸?shù)臍怏w。在生產(chǎn)電影鏡頭時,氮的純度必須高于99.99%。在航空航天技術(shù)中,液態(tài)氫填充系統(tǒng)必須首先由高純度氮?dú)獯妫缓笥筛?font color='red'>純度氦氣代替。 防火措施 迅速將受污染區(qū)域內(nèi)的人員疏散到迎風(fēng)的現(xiàn)場,將其隔離并嚴(yán)格限制更多 +
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為什么要使用高純六氟化硫
高純度六氟化硫通常用于工業(yè)生產(chǎn)。原因是什么?如果氣體不純凈會發(fā)生什么?讓我們現(xiàn)在談?wù)劇? 在常溫常壓下,高純度六氟化硫無色、無味、無毒、不易燃、熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性。它無毒,自身性能優(yōu)良,可滿足不同的生產(chǎn)要求。因此,在生產(chǎn)中廣泛使用高純度氣體。 在正常情況下,高純度六氟化硫是無毒的,但當(dāng)它與其他物質(zhì)反應(yīng)時,會產(chǎn)生劇毒物質(zhì)。電氣設(shè)備中的六氟化硫和分解產(chǎn)物在高溫電弧、電極、金屬材料、內(nèi)部濕氣和其他絕緣材料反應(yīng)后產(chǎn)生有毒產(chǎn)物。 如果六氟化硫氣體不純,在出廠時很容易含有有毒氣體。吸入高濃度六氟化硫會導(dǎo)致窒息更多 +
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高純六氟化硫怎樣使用才安全
我們使用高純度的六氟化硫作為絕緣氣體,這是因?yàn)樗哂袃?yōu)異的絕緣性。六氟化硫制造商表示,六氟化硫微水過多會導(dǎo)致水蒸氣結(jié)霜,從而降低絕緣強(qiáng)度,直接影響設(shè)備的正常運(yùn)行。當(dāng)六氟化硫微水超標(biāo)時,水和這些蒸汽會產(chǎn)生金屬氟化物,從而腐蝕部件表面。也可能存在硫化氫、HF和其他劇毒物質(zhì)。 因此,為了避免高純度六氟化硫微水可能造成的損害,我們應(yīng)該從源頭上解決這個問題。購買品牌制造商生產(chǎn)的六氟化硫氣體,并確保氣體出廠時水分合格,是解決問題的好方法。六氟化硫制造商提醒用戶,如果發(fā)生泄漏,這會腐蝕設(shè)備并直接危及人員的生命和更多 +
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