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2019年電子氣體、標準氣體、高純氣體的發(fā)展現(xiàn)狀
隨著近年來國防工業(yè)、科學研究、自動化技術、精密檢測,特別是微電子技術的發(fā)展,特種氣體行業(yè)新興起來。特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類,從應用領域劃分,主要有電子氣體、高純氣體、標準氣體三大類。 近年來,隨著下游應用領域的逐步擴展,特種氣體的品種也與日俱增,據(jù)不完全統(tǒng)計,我國已有的特種氣體達260余種。 隨著非低溫氣體分離技術(吸附、膜分離)、混配技術和提純技術的發(fā)展,更多的特種氣體產(chǎn)品將逐步走向市場。 電子氣體主要分為氫化物(超純氫、硅烷、磷烷等更多 +
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硅烷制備多晶硅技術
伴隨著能源危機的不斷加劇,國家關于清潔動力的展開越來越重視,光伏工業(yè)作為清潔動力的代表之一,敏捷占領市場并廣受好評。跟著全球光伏商場的爆發(fā)性增長,作為光伏原料的多晶硅市場也是車水馬龍,而多晶硅制備技術也在不斷推陳出新,其中,改善西門子法、硅烷法、流化床法是市場應用最多的辦法。 現(xiàn)在來說,成功完成多晶硅商業(yè)化出產(chǎn)的流化床裝置都采用了硅烷流化床,其原料為硅烷與氫氣。硅烷易與其他氯硅烷別離,本身分化溫度低,分化率高,副反應少,這就賦予了硅烷流化床法很大的優(yōu)勢:精餾、尾氣處理工序簡單,能耗和單體出資都能大大降低,反應更多 +
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蝕刻技術中特種氣體的作用
硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙烷/氧氣、三氟化氮等。但由于其各向同性,選擇性較差,因此改進后的蝕刻氣體通常包括氯基(Cl2)和溴基(Br2、HBr)氣體。反應后的生成物包括四氟化硅、四氯硅烷和SiBr4。鋁和金屬復合層的蝕刻通常采用氯基氣體,如CCl4、Cl2、BCl3等。產(chǎn)物主要包括AlCl3等 蝕刻是采用化學和物理方法,有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程。刻蝕的目的是在涂膠的硅片上正確地復制掩膜圖形??涛g分為濕法蝕更多 +
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高純硅烷和普通硅烷的品質指標對比
高純硅烷的品質無統(tǒng)一規(guī)定,各個生產(chǎn)單位生產(chǎn)的硅烷品質通常有微小差別。下標是5N、6N級高純硅烷和普通硅烷品質指標。 從表中可以看出,5N級硅烷除氫氣、氦氣外,雜質氣體氧(氬)、一氧化碳+二氧化碳控制在0.4ppmv,其他雜質氣體均在0.2ppmv。6N級硅烷均控制在0.1ppm。普通硅則高了一個數(shù)量級,氯化物甚至達到了15ppmv,高了兩個數(shù)量級。更多 +
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國內高純硅烷灌裝流程
高純硅烷灌裝前,首先利用高純氮氣、氦氣對系統(tǒng)進行高壓檢漏,真空置換。然后分析氣源,氣瓶是否合格,待一切準備就緒后,生產(chǎn)儲罐輸送來的高純硅烷氣經(jīng)壓縮機增壓后通過灌裝控制面板充入已準備就緒的容器中,完成灌裝后,系統(tǒng)自動切斷。隨后更換下一批容器進行灌裝。如果灌裝時間間隔較長,灌裝完成后,應對系統(tǒng)進行減壓、置換,不可使系統(tǒng)中長期存有硅烷。 硅烷灌裝示意流程見下圖更多 +
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硅烷項目新進展
今日,國內硅烷氣項目建設有了新的進展。目前,年產(chǎn)3000噸硅烷氣項目二期工程已與6月25號試車投產(chǎn),運行平穩(wěn)且達產(chǎn)達標,產(chǎn)品純度已達99.999999%,主要經(jīng)濟指標接近或達到國外同類產(chǎn)品指標要求。 該項目的建成達產(chǎn)標志著我國高純度硅烷大規(guī)模生產(chǎn)技術獲得突破,結束了國內高純度硅烷產(chǎn)品全部依靠進口的歷史。 該項目采用硅烷法實現(xiàn)高純度硅烷氣的工業(yè)化生產(chǎn),解決了國外鎂硅法、氟硅法等傳統(tǒng)硅烷氣技術難以大規(guī)模生產(chǎn)以及成本高、排放大等難題,生產(chǎn)成本較國際同類產(chǎn)品低30%以上。更多 +
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進口高純氙氣市場規(guī)模
近年來,我國高新技術持續(xù)快速發(fā)展,計算機工業(yè)對大規(guī)模集成電路及液晶顯示器的需求大量增加。近年來,我國大力發(fā)展新型能源,市場對多晶硅太陽能電池和薄膜太陽能電池的需求量也與日俱增。此外,新型電光源、光電半導體器件、光纖通訊器件也獲得迅猛發(fā)展,在上述高新產(chǎn)品的生產(chǎn)中,都需要大量氙氣 氦氣、氪氣、氖氣、氙氣、氨氣、四氟化碳、硅烷、八氟環(huán)丁烷、六氟化硫等特種氣體,以制造出性能可靠的各種器件。 隨著我國制造業(yè)的發(fā)展,未來我國工業(yè)對進口高純氙氣需求仍將快速增長,我國特種氣體行業(yè)的市場規(guī)模有望保持20更多 +
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易燃易爆有毒類電子工業(yè)用硅烷鍺烷氣體檢測新技術通過驗收
易燃易爆有毒類電子工業(yè)用硅烷鍺烷氣體檢測新技術研究通過驗收,本項目所設計和制備的氣體預處理系統(tǒng)有望發(fā)展建立一種新的快速、安全、簡便的易燃、易爆、有毒類電子工業(yè)氣體純度檢測分析技術,也有望推廣到其他類似電子工業(yè)氣體純度的檢測,具有一定的學術理論意義,且具有廣闊的應用前景。更多 +