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六氟化硫在微電子工業(yè)中的應(yīng)用
六氟化硫由于其在自然界中具有非常靈敏、無毒、性能穩(wěn)定、檢測方法可靠、濃度非常低的 特點(diǎn),經(jīng)常被用作環(huán)保行業(yè)空氣污染監(jiān)測和水文地質(zhì)研究的標(biāo)志。作為測量空氣污染的常用 標(biāo)志,六氟化硫的監(jiān)測距離可達(dá)100公里。更多 +
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四氟化硫SF4化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS
四氟化硫SF4化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS 四氟化硫,四氟化硫氣體,四氟化硫標(biāo)準(zhǔn)氣體,四氟化硫混合氣體 一、化學(xué)品名中文名稱:四氟化硫msds英文名:sulphur tetrafluoride二、成分組成信息名稱:四氟化硫有害成分:四氟化硫濃度:95%分子量:108.05分子式:SF4CAS: 7783-60-0三、危險(xiǎn)性概述危險(xiǎn)性類別:第2.3類,不燃有毒氣體;侵入途徑:吸入、食入。健康危害:具有強(qiáng)烈毒性的刺激性氣體,可引起類似光氣的呼吸道損害。實(shí)驗(yàn)動物有明顯的肺水腫更多 +
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三氟化氮NF3化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS
三氟化氮NF3化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS 三氟化氮,三氟化氮?dú)怏w,三氟化氮標(biāo)準(zhǔn)氣體,三氟化氮混合氣體 第一部分:化學(xué)品化學(xué)品中文名稱:三氟化氮msds化學(xué)品英文名稱:Nitrogen trifluoride第二部分:危險(xiǎn)性概述主要的物理和化學(xué)危險(xiǎn)性:有毒,強(qiáng)氧化;健康危害:尚未見職業(yè)性中毒報(bào)告燃爆危險(xiǎn):不燃環(huán)境危害:危險(xiǎn)性類別:第2.3 類,有毒氣體;第三部分:成分/組成信息化學(xué)名 CAS No. 濃度三氟化氮 7783-54-2更多 +
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四氟化碳CF4化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS
四氟化碳CF4化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS 四氟化碳,四氟化碳?xì)怏w,四氟化碳標(biāo)準(zhǔn)氣體,四氟化碳混合氣體 一、化學(xué)品名中文名稱:四氟化碳MSDS別 名: 四氟甲烷英 文 名:Carbon tetrafluoride二、成分組成信息名 稱:四氟化碳MSDS有害成分:受熱分解后可產(chǎn)生氟化氫。濃 度:99.999%分 子 量:88.01分 子 式:CF4CAS: 75-73-0三、危害性概述危險(xiǎn)性類別:第2.2類 不燃?xì)怏w侵入途徑:吸入健康危害:吸入高濃度的四氟化碳出現(xiàn)呼更多 +
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氪氣Kr化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS
氪氣Kr化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS 氪氣,氪氣氣體,氪氣標(biāo)準(zhǔn)氣體,氪氣混合氣體 一:化學(xué)品名稱物品名稱:氪氣msds 英文名:KryptonCAS.NO.:7439-90-9物質(zhì)成分(成分百分比):>99.95%二:化學(xué)性質(zhì)危險(xiǎn)品中英文名稱 濃度或濃度范圍(成分百分比) 危險(xiǎn)品成分或分子式 氪 Krypton - -三: 健康危害危害效應(yīng):窒息環(huán)境影響:物理性及化學(xué)性危害:特殊危害更多 +
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六氟化鎢WF6化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS
六氟化鎢WF6化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS 六氟化鎢,六氟化鎢氣體,六氟化鎢標(biāo)準(zhǔn)氣體,六氟化鎢混合氣體第一部分 化學(xué)品名化學(xué)品中文名稱:六氟化鎢msds化學(xué)品俗名或商品名:六氟化鎢化學(xué)品英文名稱:Tungsten Hexafluoride第二部分 成分/組成信息化學(xué)品名稱:六氟化鎢msds化學(xué)式:WF6有害物成分:六氟化鎢濃度:純度 99%CAS No.:7783-82-6第三部分 危險(xiǎn)性概述危險(xiǎn)性類別:2.3毒性氣體,8.1酸性腐蝕品侵入途徑:吸入(主要)、攝入、皮膚更多 +
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二氯硅烷H2Cl2Si化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS
二氯硅烷H2Cl2Si化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS 二氯硅烷,二氯硅烷氣體,二氯硅烷標(biāo)準(zhǔn)氣體,二氯硅烷混合氣體 一、標(biāo)識中文名稱:二氯硅烷msds英文名稱:dichlorosilane分子式:SiH2Cl2分子量:101.01二、 成分/組成信息有害成分:二氯硅烷濃度:CAS NO.:4109-96-0三、危險(xiǎn)性概述危險(xiǎn)性類別:侵入途徑: 健康危害:對上下呼吸道、皮膚和眼睛有腐蝕性和刺激性。本品遇水或空氣中的水份迅速水解形成氯化氫(鹽酸)。鹽 酸可致皮膚灼傷和粘膜刺激。接更多 +
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正丁烷C4H10化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS
正丁烷C4H10化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS 正丁烷,正丁烷氣體,正丁烷標(biāo)準(zhǔn)氣體,正丁烷混合氣體 第一部分:化學(xué)品名化學(xué)品中文名稱:正丁烷msds化學(xué)品俗名或別名:丁烷化學(xué)品英文名稱:n-butane分子式:C4H10第二部分:成分/組成信息有害物成分 濃度 CAS No. 正丁烷 106-97-8第三部分:危險(xiǎn)品概述危險(xiǎn)性類別:第2.1類 易燃?xì)怏w侵入途徑:吸入、食入、經(jīng)皮吸收。 健康危害:高濃度有窒息和麻醉作用。 急性中毒更多 +
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四氟乙烷化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS
四氟乙烷化學(xué)品安全技術(shù)說明書MSDS 四氟乙烷,四氟乙烷氣體,四氟乙烷標(biāo)準(zhǔn)氣體,四氟乙烷混合氣體 第一部分 化學(xué)品名化學(xué)品中文名:四氟乙烷msds;別名:偏四氯乙烷;1,1,1,2-四氯乙烷化學(xué)品英文名:tetrachloroethane第二部分 成分/組成信息有害物成分 濃度 CAS No.偏四氯乙烷 630-20-6第三部分 危險(xiǎn)性概述危險(xiǎn)性類別:第6.1類 毒害品侵入途徑:吸入、食入、經(jīng)皮吸收 健康危害:短期吸入對呼吸道粘膜有刺激作用。更多 +
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檢測電氣設(shè)備SF6氣體泄漏的方法
1.肥皂泡法 實(shí)現(xiàn)方法 在疑似點(diǎn)涂抹肥皂水,觀察是否產(chǎn)生氣泡,據(jù)此判斷是否存在SF6氣體泄漏。 優(yōu)缺點(diǎn) 檢測方法簡單,無需貴重儀器,但檢測精度差,檢測具有盲目性,檢測周期長不適合普測。 2.包扎法 實(shí)現(xiàn)方法 在疑似點(diǎn)包扎塑料袋,靜置規(guī)定的時(shí)間后采用定量檢測儀檢測包扎部位的SF6氣體濃度來判斷是否漏氣。 優(yōu)缺點(diǎn) 可以實(shí)現(xiàn)定量檢測,但容易受到環(huán)境溫度、氣壓、包扎塑料袋體積、檢測儀器等的影響,檢測精度只能到年泄漏率千分之三。 3.鹵化物檢測法 實(shí)現(xiàn)方法更多 +
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