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反應(yīng)曲面法——氯氣提純新工藝!
氯氣于工業(yè)中用途廣泛,電子級(jí)的氯氣,則因其具強(qiáng)氧化性且對(duì)硅、二氧化硅具良好選擇性,而使用于半導(dǎo)體之乾式蝕刻制程與熱氧化層之品質(zhì)改善工作。以工業(yè)級(jí)的氯氣作為原料,利用吸附,蒸餾等化工單元操作方式,使原料中雜質(zhì)與氯氣分離,達(dá)到將工業(yè)級(jí)的氯氣純化為純度更高的電子級(jí)的氯氣之目的,作為下游半導(dǎo)體業(yè)者蝕刻等用途。更多 +
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氯氣氣瓶柜洩有何危害?
氯氣供應(yīng)系統(tǒng)是半導(dǎo)體廠(chǎng)中危險(xiǎn)性最高的一環(huán),由于氯氣具有強(qiáng)烈的劇毒/腐蝕性,任何些微的洩漏都可能造成人員生命的危害,也就是因?yàn)檫@些顯而易見(jiàn)的危險(xiǎn),所以對(duì)于氯氣供應(yīng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)安全性及相關(guān)作業(yè)操作的要求就特別高。更多 +
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氨氣/一氧化二氮電漿處理鈦酸鎳/鈦酸鈷複晶硅絕緣層
氨氣要用于生產(chǎn)硝酸、尿素和其他化學(xué)肥料,還可用作醫(yī)藥和農(nóng)藥的原料,也可以廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、冶金工業(yè),以及需要保護(hù)氣氛的其他工業(yè)和科學(xué)研究中。一氧化二氮能溶于水、乙醇、乙醚及濃硫酸,但不與水反應(yīng)。它也可以用來(lái)作為火箭和賽車(chē)的氧化劑,以及增加發(fā)動(dòng)機(jī)的輸出功率??茖W(xué)家發(fā)現(xiàn)笑氣和氨氣能夠使鈦酸鈷及鈦酸鎳崩潰電場(chǎng),從而發(fā)揮更大的潛力。更多 +
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我國(guó)氦氣資源勘探重大突破,有望緩解氦氣資源緊俏
氦氣是一種稀有而珍貴的不可再生氣體資源,可廣泛運(yùn)用于光學(xué)設(shè)備和半導(dǎo)體的生產(chǎn),醫(yī)療設(shè)備如核磁共振,化學(xué)處理和密閉性檢查,激光焊,以及光電子業(yè)和冷氣噴涂。 由于氦氣難以從空氣中直接提取,全球大部分的氦氣資源來(lái)自于美國(guó)天然氣井,而氦氣的需求不斷擴(kuò)大但存儲(chǔ)量卻越來(lái)越少,導(dǎo)致其國(guó)際市場(chǎng)價(jià)格不斷飆升。目前我國(guó)的高純氦氣主要還是依靠國(guó)外氣體公司的進(jìn)口,但這一現(xiàn)象有望在將來(lái)得以緩解。 有調(diào)研顯示我國(guó)氦氣資源分布特征非常明顯。在東部郯-廬斷裂帶兩側(cè)含油氣盆地中,發(fā)現(xiàn)了多個(gè)氦氣含量較高的油氣藏和非烴氣藏,達(dá)到或更多 +
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