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六氟化硫行業(yè)產(chǎn)能及應(yīng)用領(lǐng)域,半導(dǎo)體國產(chǎn)化帶動電子級SF6需求
六氟化硫(化學(xué)式為SF6)常態(tài)下是一種無色、無味、無毒、無嗅的非燃燒性氣體。作為一種電子氣體,六氟化硫具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性、耐腐蝕性、電絕緣性以及耐熱性,在半導(dǎo)體、電力設(shè)備、航空航天、半導(dǎo)體制造、金屬加工、醫(yī)療等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。 根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域不同,六氟化硫可分為工業(yè)級六氟化硫以及電子級六氟化硫,近年來,隨著大規(guī)模集成電路技術(shù)提升,市場對電子氣體純度、質(zhì)量等要求越來越高,在此背景下,六氟化硫產(chǎn)業(yè)逐漸由工業(yè)級向電子級方向升級。 電子級六氟化硫可作為氟源、蝕刻氣體等應(yīng)用在半導(dǎo)體、面板顯示器件更多 +
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六氟化硫是什么?車間里如何防范?
六氟化硫可以制作新一代超高壓絕緣介質(zhì)材料。作為良好的氣體絕緣體,被廣泛用于電子、電氣設(shè)備的氣體絕緣。電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑,廣泛應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域,用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。在光纖制備中用作生產(chǎn)摻氟玻璃的氟源,在制造低損耗優(yōu)質(zhì)單模光纖中用作隔離層的摻雜劑。還可用作氮準(zhǔn)分子激光器的摻加氣體。在氣象、環(huán)境檢測及其他部門用作示蹤劑、標(biāo)準(zhǔn)氣或配制標(biāo)準(zhǔn)混合氣。在高壓開關(guān)中用作滅弧和大容量變壓器絕緣材料。也可用于粒子加速器及避雷器中。利用其化學(xué)穩(wěn)定性好和對設(shè)備不腐蝕等特點(diǎn)更多 +
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標(biāo)準(zhǔn)氣體的穩(wěn)定性
標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是指:“具有足夠均勻并已經(jīng)很好地確定某一種或多種特性的物質(zhì)或材料, 用于校準(zhǔn)儀器、評價(jià)測量方法或確定物質(zhì)的量值。”標(biāo)準(zhǔn)氣體是氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì), 由于標(biāo)準(zhǔn)氣體具有一定的有效期, 因此,標(biāo)準(zhǔn)氣體的穩(wěn)定性是配制和使用過程中的關(guān)鍵問題。 1、眾所周知, 裝入高壓容器(鋼瓶) 中的標(biāo)準(zhǔn)氣體的一個(gè)重要條件是在保存和使用過程中其量值不應(yīng)發(fā)生變化。實(shí)際上,標(biāo)準(zhǔn)氣體中成分氣體或不純物與容器內(nèi)壁接觸時(shí)往往引起吸附、解吸、化學(xué)反應(yīng)等現(xiàn)象, 而使其量值隨時(shí)間發(fā)生變化,更多 +
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六氟化硫氣體基本簡介
六氟化硫氣體化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,微溶于水、醇及醚,可溶于氫氧化鉀,不與氫氧化鈉、液氨、鹽酸及水起化學(xué)的反應(yīng)。300℃以下干燥環(huán)境中與銅、銀、鐵、鋁不反應(yīng)。500℃以下對石英不起作用。250℃時(shí)與金屬鈉反應(yīng),-64℃時(shí)在液氨中反應(yīng)。與硫化氫混合加熱則分解。200℃時(shí),在特定的金屬如鋼及硅鋼存在下,能促使其緩慢分解。 六氟化硫耐電強(qiáng)度為同一壓力下氮?dú)獾?.5倍,擊穿電壓是空氣的2.5倍,滅弧能力是空氣的100倍,是一種優(yōu)于空氣和油之間的新一代超高壓絕緣介質(zhì)材料。六氟化硫以其良好的絕緣性能和滅弧性能,在電力工業(yè)中更多 +
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六氟化硫氣體的特性
物理性質(zhì) 外觀與形狀:無色無臭氣體。 熔點(diǎn)(℃):-51 相對密度(水=1):1.67(-100℃) 相對蒸氣密度(空氣=1):5.11 分子式:SF6 分子量:146.05 溶解性:微溶于水、乙醇、乙醚。 化學(xué)性質(zhì) 化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定。微溶于水、醇及醚,可溶于氫氧化鉀。不與氫氧化鈉、液氨、鹽酸及水起化學(xué)反應(yīng)。300℃以下干燥環(huán)境中與銅、銀、鐵、鋁不反應(yīng)。500℃以下對石英不起作用。250℃時(shí)與金屬鈉反應(yīng),-64℃時(shí)在液氨中反應(yīng)。與硫化氫混合加熱則分解。200℃時(shí),在特定的金屬如鋼及硅鋼存在下,能促使其更多 +
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六氟化硫氣體簡介
一.六氟化硫的歷史 自1900年法國化學(xué)家摩森(H.Moissan)和李博(P.Lebeau)在實(shí)驗(yàn)室中將硫在氟氣中燃燒以制備六氟化硫(SF6)氣體以來,人們已從中收益非淺。因純SF6氣體的化學(xué)穩(wěn)定性,早期用于進(jìn)行人工治療肺結(jié)核空洞;同時(shí)因其優(yōu)異的絕緣和滅弧性能也倍受人們的關(guān)注。從1940年作為絕緣介質(zhì)開始,迄今已被廣泛地應(yīng)用在電力設(shè)備中,如高壓斷路器、變壓器、互感器、電容器、避雷器、接觸器、熔斷器、管道母等。 二.六氟化硫的物理性質(zhì) SF6作為一種絕緣氣體,具有很多優(yōu)點(diǎn),是一種無色、無味、無毒、更多 +
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標(biāo)準(zhǔn)氣體混合氣體制備方法
標(biāo)準(zhǔn)氣體混合氣體制備方法 1、單一組分的制備方法 制備單一組分標(biāo)準(zhǔn)氣體的方法因物質(zhì)的性質(zhì)不同而異。對于揮發(fā)性較強(qiáng)的液態(tài)物質(zhì),可利用其揮發(fā)作用制備,不能用揮發(fā)法制備的可采用化學(xué)反應(yīng)法制備。 2、標(biāo)準(zhǔn)混合氣體的制備 標(biāo)準(zhǔn)混合氣體是用一種高純氣體作稀釋氣再添加一種或幾種其它的高純氣體配制而成。標(biāo)準(zhǔn)氣體的配制方法主要有稱量法、分壓法、體積法、滲透法、飽和法、電解法、指數(shù)稀釋更多 +
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氟化物氣體應(yīng)用
COF2;有機(jī)合成中間體,氟化劑。 CHF3;蝕刻,冷凍劑,有機(jī)合成。 CH2F2;致冷劑。 CH3F;噴霧劑,C-F鍵的研究。 WF6;氟化劑,鎢載體,化學(xué)氣相沉積。 SF6;電子設(shè)備,雷達(dá)波導(dǎo),粒子加速器,變壓器,避雷器的氣 絕緣體,制冷劑,示蹤裝置,醫(yī)療,半導(dǎo)體制造中的蝕刻、化學(xué)氣相沉積,標(biāo)準(zhǔn)氣,檢漏氣體,色譜儀的載氣。 NF3;火箭推進(jìn)劑,氟化劑,電子氣,等離子干刻,摻雜,激光,光導(dǎo)纖維 。 S更多 +
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