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反應(yīng)曲面法——氯氣提純新工藝！
氯氣于工業(yè)中用途廣泛，電子級(jí)的氯氣，則因其具強(qiáng)氧化性且對(duì)硅、二氧化硅具良好選擇性，而使用于半導(dǎo)體之乾式蝕刻制程與熱氧化層之品質(zhì)改善工作。以工業(yè)級(jí)的氯氣作為原料，利用吸附，蒸餾等化工單元操作方式，使原料中雜質(zhì)與氯氣分離，達(dá)到將工業(yè)級(jí)的氯氣純化為純度更高的電子級(jí)的氯氣之目的，作為下游半導(dǎo)體業(yè)者蝕刻等用途。更多 +
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