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六氟化硫:新一代光刻膠刻蝕劑
六氟化硫是一種高效的光刻膠刻蝕劑,廣泛用于微電子、光電子等領域。其在大氣壓下具有較強的化學惰性和氧化力,通過與光刻膠中的聚合物鏈發(fā)生氟化反應實現(xiàn)蝕刻。在使用六氟化硫時,需注意操作安全,避免與水蒸氣接觸,以確保生產(chǎn)過程安全和高效。更多 +
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特種氣體在蝕刻中的應用
刻蝕分為濕法蝕刻和干法蝕刻。???硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙烷/氧氣、三氟化氮等。???蝕刻氣體氣體工業(yè)名詞,蝕刻就是把基片上無光刻膠掩蔽的加工表…更多 +
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什么是電子化學品
電子工業(yè)是一個在過去30年代迅速發(fā)展的高科技產(chǎn)業(yè)。以計算機和超大集成電路為核心的電子工業(yè)的發(fā)展水平已成為衡量一個國家科技水平的重要標志。什么是電子化學品?安徽高純氬制造商的專家指出,電子化學品是支持電子工業(yè)的特殊化學品。電子工業(yè)的發(fā)展依賴于電子化學品和電子化學材料的發(fā)展。 電子化學品品種多,場地少,質量要求高,環(huán)保審批要求嚴格,產(chǎn)品升級等待點快。目前,支持電子行業(yè)的化學品包括超凈和高純度試劑、特殊氣體、光刻膠、塑料包裝材料、研磨和拋光材料和材料,用于印制電路板制造(干膠耐腐蝕、清潔、化學品船、電鍍液及更多 +
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半導體中的第二大材料電子特氣是什么?
在芯片制造過程中,不僅需要光刻機、蝕刻機、光刻膠、硅片等核心設備或材料,還需要工業(yè)中一種稱為電子氣的特殊氣體。更多 +
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光刻機中你不知道的化學知識
許多化學和化學工程專業(yè)的學生經(jīng)常覺得自己選錯了專業(yè)。事實上,化學和化學工程的知識非常廣泛。請不要沮喪。讓我們談談光刻術對化學原理的依賴性。光刻技術利用光子能量在晶圓表面“雕刻”光刻膠,將掩模圖像傳輸?shù)骄A表面。顧名思義,光的使用是光刻技術的核心,因此可能存在誤解。光刻是一種物理上占主導地位的工藝,但化學原理在光刻工藝中起著至關重要的作用。 1. 光化學反應 光化學反應是光刻工藝的基本原理。所謂光化學反應是利用光子能量作為活化劑產(chǎn)生自由基,然后通過一系列更多 +
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一周翻了5倍的稀有氣體——氖氣
氖氣(Ne),制造芯片的關鍵性材料,怎么個關鍵? 沒有光刻機,做不出芯片。 沒有光刻氣,光刻機就是個模型。 氖氣,占光刻氣這種激光氣體混合物的96%以上。 氖氬氟等稀有氣體經(jīng)高壓受激發(fā)后形成等離子體,在這個過程中,由于電子躍遷,會產(chǎn)生固定波長的光線,形成了剔除光刻膠的刀片。 除此之外,還有兩個好兄弟,氪氣(同樣用于光刻制程),氙氣(用于半導體刻蝕制程)。 一周內(nèi),氪氣漲幅約30%,目前主流價格在38000-42000元/方。氙氣漲幅約40%,主流價格在42萬—45萬/方。更多 +
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存儲芯片需求增長,2025年電子級稀有氣體用量或增加至850ML
在信息時代的飛速發(fā)展中,海量數(shù)據(jù)的處理不僅對于芯片算力提出越來越高的要求,不斷累積的數(shù)據(jù)也需要更大、更快、延時更低的存儲介質。電子工業(yè)中氪氙氣體主要用于3D NAND存儲器高深寬比刻蝕工藝,從而實現(xiàn)多層堆疊結構。預計2025年全球電子級稀氪氖氙氣體用量將增加至850ML,較2020年增長29%。 激光氣體主要用于電子工業(yè)中激光退火和光刻氣。光刻機是半導體制造的核心設備,光刻定義了晶體管尺寸,光刻產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展是光刻機突破關鍵。與之配套的光刻膠、光刻氣體、光罩等半導體更多 +